betvlctor伟德网页版登录入口靶材产品加工工艺流程
原料备料:选取高品质原材料,部分选择进口料,以保证靶材品质。
粉末处理:合成,球磨,制粉,混粉。
烧结成型:冷压烧结、热压烧结。
材料检测:外观检测,致密度检测。
机加工成型:切割,磨床加工。
外观尺寸检测:检测成品外观及尺寸公差。
绑定焊接:金属化处理,焊接绑定。
清洗终检:产品经检合格后出具报告,真空包装,防潮、防摔、防震包装,入库。
出库运输:出库审验,附带成分检测报告,顺丰速递。
betvlctor伟德网页版登录入口靶材产品成分质量控制
原料成分分析:通过 ICP设备检测分析,杂质元素含量,确保纯度达标;通过XRD检测粉末成分,是否成相等情况。
外观尺寸检测:通过千分尺,精密卡尺,测量产品 尺寸,以确保符合图纸要求;通过表面清洁度仪测量产品表面光洁度及清洁程度。
探伤检测:通过探伤设备检测背靶,确保绑定层均匀,绑定率高。
betvlctor伟德网页版登录入口靶材产品应用领域及适用设备
适用设备:应用于各种单靶溅射系统,多靶溅射系统,离子溅射系统等磁控溅射设备
应用领域:科学实验或研究方面应用,微纳加工,器件制作等相关定制产品广泛用于半导体芯片、太阳能光伏 、平面显示、特种涂层等
国产品牌:北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、创世威钠、金盛微 纳、泰科诺等;
进口品牌:Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等
betvlctor伟德网页版登录入口靶材产品包装及保存说明
出库包装:内部真空袋真空包装,外部为定制产品靶材盒,纸箱快递运输
储存方法:收到产品后 ,需储存于干燥环境,密封包装,轻拿轻放,防压防撞
使用注意:使用前观察靶材表面是否清洁,带上干净的手套操作,避免直接用手接触物料,勿被油污等异物污染