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目前，便携式个人电脑、电视、手机等平板显示设备的需求成倍增长，极大地推动了各种平板显示设备的发展。此外，用于平面显示器的溅射靶材的需求也在迅速增加。

平板显示器由金属电极、透明导电电极、绝缘层和发光层组成。它包括液晶显示器（LCD）、等离子显示器（PDP）、薄膜晶体管液晶平板显示器（TFT-LCD）。这些平板显示设备都使用各种类型的薄膜，没有薄膜技术就没有平板显示设备。

平板显示器溅射靶材

为了保证大面积薄膜的均匀性，提高生产效率和降低成本，溅射技术越来越多地用于制备平板显示薄膜。平板显示器镀膜用溅射靶材主要有铬Cr溅射靶材、钼Mo溅射靶材、铝Al溅射靶材、铝铜AlCu合金溅射靶材、铝钕AlNd溅射靶、铝钪AlSc溅射靶、铝硅铜AlSiCu溅射靶、铜Cu溅射靶材、铜锌CuZn合金溅射靶材、ITO溅射靶材。详情如下：

①铬溅射靶材

铬溅射靶材广泛应用于五金工具镀膜、装饰镀膜、平板显示器镀膜。五金涂层用于各种机械和冶金应用，例如机器人工具、车削工具、模具（铸造、冲压）。膜层厚度一般为2~10um，要求硬度高、磨损小、耐冲击、耐热冲击、附着力强。现在，铬溅射靶材普遍应用于玻璃镀膜行业。最重要的应用是汽车后视镜的制备。随着汽车后视镜的要求越来越高，很多企业已经从原来的镀铝工艺转向真空溅射镀铬工艺。

②钼溅射靶材

钼是一种银灰色金属，莫氏硬度为 5.5。其熔点为 2,623 °C (4,753 °F)。只有钽、锇、铼、钨和碳在天然存在的元素之间具有更高的熔点。钼的弱氧化从 300 °C (572 °F) 开始，它是商用金属中热膨胀系数最低的之一。当钼丝的直径从约 50-100 nm 减小到 10 nm 时，钼丝的抗拉强度增加约三倍，从约 10 GPa 到 30 GPa。

③铝溅射靶材

铝是一种银白色的金属材料。它可以在厨房用具、汽车、路灯和食品包装中的铝箔中找到。虽然它不是一种坚固的材料，但它是热和电的良导体，可以形成耐腐蚀的氧化层。如果在真空中蒸发，铝层会形成望远镜、汽车前照灯、镜子、包装和玩具上的反射涂层。铝溅射靶材广泛应用于航空航天、汽车照明、OLED、光学等行业。一些高纯度铝靶材用于半导体芯片、平板显示器和太阳能电池行业。

④铜溅射靶材

铜是一种延展性金属，具有非常高的导热性、导电性、延展性、耐腐蚀性。高纯铜在电子电气工业中用作各种线材、电子封装的键合线、优质音频线和集成电路、液晶显示器溅射靶材、离子镀等。它也是原子能、火箭、导弹、航空、航天导航和冶金工业中不可缺少的宝贵材料。鑫康根据要求提供高纯度无氧铜、白铜和合金产品。

⑤ITO溅射靶材

氧化铟锡 (ITO) 溅射靶材广泛用于形成电透明薄膜。这些薄膜采用直流磁控溅射工艺用于平板显示器、太阳能电池、气体传感器等的电极。ITO溅射靶材需要高纯度、均匀的微观结构、高密度和高导电性来提高ITO薄膜的性能。ITO 溅射靶材正在使用 In2O3-SnO2 混合粉末和锡掺杂的氧化铟粉末制造。