为什么真空镀膜要在真空条件下镀膜
在较高的真空度下可以减少残余气体的污染在真空度不太高的情况下, 真空室内含有众多的残余气体分子( 氧、氮、水及碳氢化合物等 ) ,它们能给薄膜的镀制带来极大的危害。
它们与汽化的膜料分子碰撞使平均自由程变短(由于气体分子的热运动,分子之间的碰撞也是极其频繁的,所以尽管气体分子运动的速度相当的高 ( 可达每秒几百米 ) ,但是由于它在前进的过程中要与其它分子多次碰撞, 一个分子在两次连续碰撞之间所走的距离被称为它的自由程, 而大量分子自由程的统计平均值就被称为分子的平均自由程。)
它们与正在成膜的表面碰撞并与之反应。
它们隐藏在已形成的薄膜中逐渐侵蚀薄膜。
它们与蒸发源高温化合减少其使用寿命。
它们在已蒸发的膜料表面上形成氧化层使蒸镀过程不能顺利进行 。
因此,蒸发真空镀膜机要镀制膜层,必须要真空状态下才能进行镀膜,膜层才会牢固,才不会有污染物等。
摘转自:镀膜技术交流峰会