真空计的分类及原理
真空计(Vacuum Gauge),又称规,是测量真空度或气压的仪器.一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进行气压的测量.在科研和工业生产中广泛使用.按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能,利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计.利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和电热偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规.
1、波尔登规(Bourdon)
2、薄膜电容规
3、皮拉尼规
4、热电偶规
5、热阴极电离规
6、冷阴极电离规
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