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溅射靶材的养护不可忽视,因为靶材的清洁度对于溅射镀膜过程中形成的镀膜质量,以及产品质量合格与否有着至关重要的作用,清除那些在靶材上的残留物,可减少靶材表面结瘤,也能提高靶材利用率和生产效率,而且靶材清洁也与后期的养护密不可分.

溅射靶材维护

为避免溅射过程中空腔不干净造成短路和起弧,需要分阶段清除沉积在溅射轨迹中间和两侧的堆积溅射材料.也有利于用户以最大功率密度连续溅射.

溅射靶材存储

我们建议用户将溅射材料(无论是金属还是陶瓷)储存在真空包装中.尤其是贴合靶材必须在真空条件下保存,以免粘附层氧化,影响靶材贴合质量.对于金属靶材的包装,我们建议至少使用干净的塑料袋.

溅射靶清洁

步骤 1,用浸有丙酮的无绒软布清洁溅射靶材;

步骤 2,与第一步类似,用酒精清洁靶材;

步骤 3,用去离子水清洗靶材材料.之后,将靶材物放入烘箱中并在 100 摄氏度下干燥 30 分钟;步骤 4,用高压、低湿气的氩气冲洗靶材,以去除任何可能在溅射系统中引起电弧的不纯颗粒.

短路和密封性检查

靶材安装好后,需要对整个阴极做短路检查和密封检查.建议用电阻表晃动手表来判断阴极是否短路.在确定阴极没有短路后,可以进行漏水检查,将水通入阴极,以确定是否有漏水现象.

包装与运输

所有靶材都包装在带有防潮层的真空密封塑料袋中.外包装一般是一个木箱,四周有防撞层,以保护靶材和背板在运输和储存过程中不受损坏.