真空蒸镀可应用产业
主要产业大多应用于装饰、光学、电性、机械及防蚀等方面,现就比较常见者分述如下:
1.镜片的抗反射镀膜(MgO、MgF2、SiO2等),镜片置于半球支顶,一次可镀上百片以上.
2.金属、合金或化合物镀膜,应用于微电子当导线、电阻、光电功能等用途.
3.镀铝或钽于绝缘物当电容之电极.
4.特殊合金镀膜MCrAlY具有耐热性、抗氧化性,耐温达1100℃,可应用须耐高温环境的工件,如高速切削及成形加工、涡轮引擎叶片等.
5.镀金属于玻璃板供建筑物之装饰及防紫外线.
6.离子蒸镀镀铝,系以负高电压加在被镀件上,再把铝加热蒸发,其蒸气经由电子撞击离子化,然后镀到钢板上.
7.镀铝于胶膜,可供装饰或标签,且镀膜具有金属感等.最大的用途就是包装,可以防潮、防空气等的渗入.
8.机械零件或刀磨具镀硬膜(TiC、TiN、Al2O3)这些超硬薄膜不但硬度高,可有效提高耐磨性,而且所需厚度较小,能符合工件高精度化的要求.
9.特殊合金薄片之制造.
10.镀多层膜于钢板,改善其性能.
11.镀硅于CdS太阳电池,可增加其效率.
12.纳米粉末之制造,镀于冷基板上,使其不附着.
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