沉积的薄膜有内应力来源
betvlctor伟德网页版登录入口 2020-08-28 12:00:00
沉积的薄膜有内应力的存在,他的来源原因:
(1)薄膜和基材之间的晶格失配;
(2)薄膜和基材之间的热膨胀系数差异;
(3)晶界之间的互挤.
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