良好的薄膜需要具备什么特性以及影响的因素
betvlctor伟德网页版登录入口 2020-08-28 10:04:18
通俗的定义为在正常状况下,其应用功能不会失效.
想要达到这个目的,一般而言这层薄膜必须具有坚牢的附着力、很低的内应力、针孔密度很少、够强的机械性能、均匀的膜厚、以及足够的抗化学侵蚀性.
薄膜的特性主要受到沉积过程、成膜条件、接口层的形成和基材的影响,随后的热处理亦扮演重要角色.
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