电子枪蒸镀系统原理
利用电子枪所射出之电子束轰击待镀材料,将高能电子射束之动能转为熔化待镀材料之热能,其拥有较佳之热转换效率,同时也可得到较高的镀膜速率,而且利用电流大小控制热电子数目也可精密调控其蒸发速率.
至于在蒸镀材料的选择方面则几乎不受限制,无论纯元素、化合物都可以蒸镀,即使是钨、钼及钽等高熔点元素或铝、钛等活性强之金属也都适用.
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