光学薄膜之红外膜的类型
1、基片类型
中波红外光学材料包括氧化物陶瓷,如 A120 ,蓝宝石单晶、 ZrO2 , Mg0 , MgA120 (尖晶石)、 AION (氮氧化铝)、石英晶体和熔融石英;氟化物晶体如 CaF2 , MgFz , Si3N4 , SiC 等。长波材料大多是半导体材料,如 W 族半导体材料 Ge , Si和金刚石。
2、膜料类型
红外膜系材料中,低折射率材料 A1F3 , MgF2 , Si02 , A1203 ThF4 ,高折射率材料有 ZnS , Znse , Zr02 , Hf02 , Ti02 , Ta207 ,Si, Ge 等。